產(chǎn)品功能：

◆采用一套多臂氣動(dòng)機(jī)械手傳動(dòng)，定位精準(zhǔn)，效率高。

◆人機(jī)界面，PLC程序控制，觸摸屏操作。

◆水系型清洗劑、DI水、IPA清洗干燥。

◆間接式導(dǎo)熱油加熱方式，全自動(dòng)IPA檢測(cè)、滅火裝置。

◆機(jī)架及全封閉外罩HEPA高效空氣過(guò)濾器，防止二次污染。

◆采用多種清洗頻率清洗設(shè)備：40KHz、80KHz、100KHz、120KHz。